国产光刻机,究竟远超了什么水平?
2024-02-07 12:17:48
ROM的制做过程中,光刻机是最重要且最重要的一种的设备,从费用来看,光刻机占到所有ROM制做的设备的22%约。
ASML一家能造。
葡萄牙ASML、长崎LS和EOS公司完全垄断,而国际间的广州新材料出产的光刻机,市场占到有率基本可以忽略,尤其ROM制做光刻机这砖头,更多用于封测、加工过程采购等应用。
EOS第一季度为176台,占到比为32%。LS仅出货30台,占到比约为5%。
而7nm及以下的EUV光刻机,只有ASML能采购。LS的水平是采购放进式光刻机,除此以外灵敏度是28nm,经多重曝光,一般也只用于14nm。
而EOS采购的光刻机,除此以外灵敏度是90nm,经多重曝光,超过也只用到65nm约,这就是这三大光刻机厂商的情况。
而国际间最牛的是广州新材料,已官方量出产的光刻机除此以外灵敏度是90nm,经多重曝光,超过也只用到65nm,与EOS赞同,但多重曝光还会导致良率突出降低,导致费用飙升。
但之后有此前称,广州新材料现在在采购28nm的光刻机,多重曝光光后采购7nmROM,预估在2021-2022年出厂,但没人说明的报导,所以不能乱说。
所以现阶段国际间明面有的光刻机水平就是90nm,就算多重曝光,超过也就是65nm,考虑到ASML的DUV光刻机是不一般而言的, 估计没人谁卖90nm的,来采购65nm的光刻机。所以,悬殊真是是非常非常大。
事实上,EUV光刻机合共有10多万个零件,而ASML有5000多生出产商,可见要采购两台EUV光刻机,真是不易于,但再进一步枉,这个关我们也必须冲过去。
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